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SpecEl椭偏仪
  • 名称:SpecEl椭偏仪
  • 型号:SpecEl
  • 品牌:Ocean Optics
  • 描述:SpecEl椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实...
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SpecEl 椭偏仪

      SpecEl椭偏仪通过测量基底反射的偏振光,进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率,吸光率及膜厚的测量。


技术参数

波长范围:

380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选)

光学分辨率

4.0 nm FWHM

测量精度

厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

入射角

70°

膜厚

单透明膜1-5000 nm

光点尺寸

2 mm x 4 mm (标准) 或 200 µm x 400 µm (可选)

采样时间

3-15s (最小)

动态记录

3 seconds

膜层数

至多32层

参考

不需要

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