- 名称：NanoCalc薄膜反射光谱仪系统
- 型号：NanoCalc
- 品牌：Ocean Optics
- 描述：薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量，对单层...
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NanoCalc 薄膜反射测量系统
薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250µm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。
常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
技术参数
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入射角 |
90° |
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层数 |
3层以下 |
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需要进行参考值测量 |
是 |
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透明材料 |
是 |
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传输模式 |
是 |
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粗糙材料 |
是 |
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测量速度 |
100ms - 1s |
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在线监测 |
可以 |
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公差（高度） |
参考值测量或准直(74-UV) |
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公差（角度） |
参考值测量 |
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微黑子选项 |
配显微镜 |
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显示选项 |
配显微镜 |
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定位选项 |
6"和12" XYZ 定位台 |
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真空 |
可以 |
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