迈昂科技
测试与测量仪器专家

企业微博 | 加入迈昂 | 网站地图

服务热线:0755-86185757 15019443702

产品中心
PlasCalc等离子体监测控制仪
  • 名称:PlasCalc等离子体监测控制仪
  • 型号:PlasCalc-UV-VIS/NIR
  • 品牌:Ocean Optics
  • 描述:PlasCalc等离子体监测控制仪,实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量,通过高级过程控制系统及精密数据存取...
服务热线:0755-86185757 15019443702
产品概述
主要特点
选型指南
资料下载

      PlasCalc等离子体监测控制仪,实现200nm-1100nm波段内的等离子体测量,通过高级过程控制系统及精密数据存取算法,只需3s就可以获得测量结果。



Recipe编辑器

      Recipe编辑器有助于简单快捷的配置、构建及存储实验方法。对一些困难的等离子体工序诸如膜沉积测量、等离子体蚀刻监测、表面洁度监测、等离子体室控制及异常污染、排放监测等,能够快速简单的构建模块过程控制。


多种工具用于等离子体诊断

      随PlasCalc配置的操作软件,集成的程式编辑器能够容易实现多种数学算法功能。可选的波长发生器(可以单独购买)用于类型确认,而波长编辑器可以用于优化信噪比。双窗口界面用于显示实际光谱及所有过程控制信息。


技术参数

光谱范围

200-1100 nm

光学分辨率

1.0 nm (FWHM)

D/A 转换

14 bit

数字I/O

8 x TTL

模拟输出

4 x [0-10V]

接口

USB 1.1

功耗

12 VDC @ 1.25 A

电源

90-240 VAC 50/60 Hz

尺寸

257 mm x 152 mm x 263 mm

重量

5 kg


相关产品