产品概要

FA8失效分析探针台是专为失效分析实验室设计的一款量测设备，具光学特性、激光特性，设备结构稳定，系统性能优异，人体工程学设计，操作便捷，支持多功能升级，产品功能丰富齐全。

基本信息

产品型号	FA8	工作环境	开放式
电力需求	220VC,50~60Hz	操控方式	手动探针台
产品尺寸	960mm长850mm宽1500mm高	设备重量	约260KG

应用方向

常温和高低温环境下的芯片失效分析、射频特性器件失效分析、材料/器件的IV/CV特性测试及失效分析、芯片内部线路/电极/PAD测试、IC/面板内部线路修改/去层

技术特点

产品特点

●大手柄驱动，无间隙移动 ●人体工程学设计，操作便捷舒适 ●多波段激光应用，快速切换精准切割 ●兼容高倍率金相显微镜，可达到1μm以上的Pad测试 ●无回程差设计，定位精准 ●空气冷却结构体积小巧，无需维护 ●高精度系统，激光加工精度可达1*1μm ●领先的内部防震系统装置，运行更稳定

失效分析探针台
规格		FA8	FA8-SC
外形		960mm长850mm宽1500mm高	880mm长860mm宽1550mm高
重量		约260KG	约280KG
电力需求		220VC,50~60Hz
样品台	尺寸	8英寸，可360度旋转
	行程	X-Y行程8*8英寸
	移动精度	1um
	样品固定方式	真空吸附	真空吸附
	温控范围	-	﹣80~200℃
	快速拉出	-	有
	特殊运用	电学独立悬空，可作为背电极使用
针座平台	规格	U型平台，最多可放置10个针座	O型平台，最多可放置12个针座
	行程&调节方式	平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;
光学特性	显微镜行程	X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm	X-Y轴行程1英寸*1英寸，Z轴：50.8mm
	放大倍数	20~4000X
	镜头切换时操作	快速倾仰/气动升降
	CCD像素	50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）	50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
激光特性	波段	波长可选择1064/532/355/266nm波段
	功率	输出功率2.2mJ/pulse （可升级）
	微加工能力	可加工材质：Cr/Al/ITO/Ni/TFT/RGB/Poly Silicon/Mo/SiN/CF内杂质等
	精度	最小可加工精度1*1um（配置100X镜头时）
	冷却方式	可选择风冷激光或水冷激光
点针规格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
	机械精度	2微米/0.7微米/0.1微米
	漏电精度	同轴1pA/V @25℃；三轴100fA/V @25℃; 三轴10pA@3kv @25°C，测试条件：接地屏蔽的干燥环境（空气露点低于-40°C）
	接口形式	香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
可选附件		卡盘快速拉出装置	卡盘快速拉出装置
		液晶热点侦测套装	液晶热点侦测套装
		高压/大电流测试套装	高压/大电流测试套装
		加热台	-
		屏蔽箱	屏蔽箱
		转接头	转接头
		防震台	防震台
		镀金卡盘	镀金卡盘
		同轴叁轴卡盘	同轴叁轴卡盘
		样品台快速升降，微调升降装置选件	-
		光强/波长测试选件	光强/波长测试选件
		射频测试附件	射频测试附件
		有源探头	有源探头
		低电流/电容测试	低电流/电容测试
		光纤夹具耦合测试选件	光纤夹具耦合测试选件
		封装器件夹具	封装器件夹具
		PCB/封装夹具测试选件	PCB/封装夹具测试选件
		特殊定制	特殊定制
应用方向		常温和高低温环境下的芯片失效分析

特点
失效分析实验室专用			大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计，定位准确
可做LC液晶热点侦测			激光最小可加工精度1*1um
激光可选择性去除特定材料而不损伤下层			芯片内部线路/电极/PAD测试
适用于IC/面板内部线路修改/去层			射频特性器件失效分析
可升级用于12英寸以内样品测试			材料/器件的IV/CV特性测试及失效分析