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型号 |
E4 |
E6 |
E8 |
E12 |
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外形（长*宽*高/mm） |
680*670*760mm |
680*670*760mm |
750*670*800mm |
1030*800*850mm |
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重量（KG） |
约90kg |
约95kg |
约110kg |
约210kg |
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电力需求 |
220VC,50~60Hz |
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卡盘 常温标准 |
卡盘尺寸 |
4" |
6" |
8" |
12" |
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样品固定方式 |
环形真空吸附（可定制多孔吸附） |
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背电极测试功能 |
有，样品台电学独立悬空 |
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卡盘材质 |
不锈钢/铜镀镍或镀金
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卡盘 移动平台 |
Theta行程 |
360°旋转（粗调）；微调范围±8°，微调精度0.002° |
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卡盘升降 |
卡盘台可以上下快速升降5mm，微调升降行程6mm，精度1μm |
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X-Y行程 |
100*100mm |
150*150mm |
200*200mm |
250*250mm |
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移动精度 |
10μm |
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卡盘快速拉出 |
N/A |
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控制方式 |
小型旋钮驱动 |
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针座平台 |
外形尺寸 |
长550mm*宽405mm |
长720mm*宽405mm |
长980mm*宽480mm |
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卡盘到平台距离 |
8mm（卡盘上表面与针座平台下表面） |
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针座数量 |
最多可放6个针座 |
最多可放8个针座 |
最多可放10个针座 |
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针座平台升降 |
N/A |
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针座定位方式 |
磁力吸附或真空吸附 |
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光学特性 |
镜头规格 |
标配PSM-1000金相显微镜/可选（GX-6金相，体视，视频）显微镜 |
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放大倍数 |
20-2000X |
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CCD像素 |
3种CCD可选:200W（数字）/500W（数字）/650W（数字） |
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运动控制 |
Z 轴移动行程 50.8 mm，同轴旋钮调节，细调精度优于1μm |
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显微镜行程 |
显微镜2英寸XY平移台范围内移动 |
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显微镜移动精度 |
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点针规格 |
X-Y-Z行程 |
12mm-12mm-12mm |
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机械精度 |
10μm/2μm/0.7μm |
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漏电精度 |
同轴1pA/V @25℃；三轴100fA/V @25℃; 三轴10pA@3kv @25°C，
测试条件：接地屏蔽的干燥环境（空气露点低于-40°C）
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接口形式 |
香蕉头/鳄鱼夹/同轴/三轴接口 |
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