>卡盘XY移动平台（标准配置）
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XY行程范围 |
300 mm x300 mm (12"x12") |
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XY最佳行程 |
300mm x 300 mm（满足大范围行程测试） |
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移动精度/分辨率 |
< 1.0 µm (0.04 mils) (~0.8 mm/rev) |
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平面性 |
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theta行程 |
粗调：360° |
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运动控制 |
气控+无牙螺母控制 |
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Z轴升降 |
快速升降：3mm |
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微调升降：0-13mm,精度：≤2µm |
>针座平台
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材料 |
钢镀镍 |
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尺寸 |
见产品尺寸介绍第8页 |
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最大针座数量 |
8 DC and 4 RF(取于针座配置) |
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卡盘到针座平台下底面最佳距离 |
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Z-height运动范围 |
Max.0-40mm (取于卡盘配置) |
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Separation lift |
3段：分离(300µm)，Load装载(5mm),不间断升降（0-40mm) |
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接触重复性 |
< ±1µm (0.08 mils) |
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RF 针座固定 |
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DC 针座固定 |
磁力吸附/真空吸附 |
